退火装置及退火方法.pdfVIP

退火装置及退火方法.pdf

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加热部对退火对象物的表面进行加热从而使表层部暂时熔融。传感器检测来自被加热部加热的退火对象物的热辐射光。处理部根据表示由传感器检测出的热辐射光的强度的经时变化的波形来推算出退火对象物的退火结果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169053 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980080294.4 (74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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