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2023-06-14 发布于四川
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流量限制件、流量限制组件和光刻设备.pdf

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本发明涉及一种流量限制件(200)、一种流量限制组件(400)和用于制造所述流量限制件和所述流量限制组件的方法。用于管道(300)中以便限制流体的流量的所述流量限制件包括主体，所述主体沿轴线(290)延伸且包括：i)具有恒定的横截面的中心部分(240)；ii)上游部分(220)，其中所述上游部分的横截面积在沿所述轴线的下游方向上单调地增加；以及iii)下游部分(260)，其中所述下游部分的横截面积沿所述下游方向单调地减小。所述流量限制件还包括用于与管道的内表面接合的多个中心部分突出部(280)，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113168120 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980080784.4 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

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