旭阳教育训练计划真空泵与真控规.pptxVIP

旭阳教育训练计划真空泵与真控规;个人简介;课程要求： 上课认真听讲，注意重点； 考试范围全部涵盖在所讲内容之中； 缺课不要超过3次，有事情可以提前请假； 平时成绩30%+期末考试70%；;;5;薄膜材料的简单分类;1.3 薄膜的分类;8;; “真空”这一术语译自拉丁文Vacuo，其意义是虚无。其实真空应理解为气体较稀薄的空间。在指定的空间内，低于一个大气压力的气体状态统称为真空。真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示。 真空技术是基本实验技术之一。自从1643年托里拆利(E. Torricelli)做了著名的有关大气压力实验，发现了真空现象以后，真空技术迅速发展。现在，真空技术已经成为一门独立的前言学科。它的基本内容包括：真空物理、真空的获得、真空的测量和检漏、真空系统的设计和计算等。随着表面科学、空间科学高能粒子加速器、微电子学、薄膜技术、冶金工业以及材料学等尖端科技的发展，真空技术在近代尖端科学技术中的地位越来越重要。 ;（1）真空的基本特点 ; 由于上述原因，真空中分子之间碰撞频率很低，分子与固体表面碰撞的频率极低。单位面积上气体分子碰撞频率ν与压强p的关系为： ;（2）真空度的单位与区域划分 ;;本节内容概述： 1获取真空的办法； 2测量真空度的办法； ;真空度对薄膜质量的影响;真空系统应包括： 待抽空的容器 (真空室) 获得真空的设备(真空泵) 测量真空的器具(真空计) 必要的管道、阀门和其他附属设备 　　　　;至今还没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空;真空泵的分类;A;旋片式机械泵 结构(剖面)图;机械泵;扩散泵是利用被抽气体向蒸汽流扩散的现象来实现排气的，扩散泵可用来获得高真空。 ;马达电源;几种常用真空泵的工作压强范围;压力的表述;在真空技术中遇到的气体压强都很低，要直接测量气体压力极不 容易的。因此，都是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理 量，再变换后确定容器的压强 任何具体的物理特性，都是在某一压强范围内最显著，任何方法 都有测量范围，这个范围就是真空计的“量程” ; 粗真空或低真空： U型管??差计 真空表 较高或高真空： 真空规： 测量真空度的器具； 绝对真空规 麦氏真空规 相对真空规 热偶真空规 、电离真空规;U型管压差计;麦氏(Mcleod)真空规;通过热电偶直接测量热丝温度的变化，热电偶产生的电动势就可以表征规管内的压力。气体压强和热电偶的电动势之间存在的关系：;B、热电偶：用热电偶测定温度变化引起电动势变化的真空计 Q = Q1 + Q2 + Q3 热丝辐射 热丝传导 气体与热丝碰撞 其中，辐射热量和导线传到热量保持恒定；Q3与气体分子的碰撞（压强）成正比； 热电偶电势 ? (T1，T2) = e (T1)-e (T2) e (T1)、e (T2) 是接点的分热电动势;利用某种手段使进入规管中的部分气体分子发生电离，收集这些离子形成离子流；由于被测气体分子所产生的离子流在一定压力范围内与气体的压力成正比关系，通过离子流的大小反映出被测气体压强。;名 称;第35页/共36页;感谢观看!