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本发明公开了一种分流防护干法窗口,包括:样品窗体,内部设有供气流通过的气流腔体;两块光学玻璃窗口,相对设置在样品窗体的左右侧壁上,二者之间形成测试区域;样品喷管,竖直穿设在气流腔体中,供样品流通,末端设有样品喷出口,样品喷出口朝向测试区域;分流体,延伸方向与样品喷管的轴向一致,呈中部宽两端窄,设置在样品喷管靠近样品喷出口的一端上,且位于气流腔体内。本发明还公开了一种干法测试系统。本干法窗口结构巧妙,通过在样品喷出口之前设置分流体的方式,并巧妙的利用分流体呈中部宽两端窄的形状特性,有效的保护了光学
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113125316 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110332404.0
(22)申请日 2021.03.29
(71)申请人 珠海欧美克仪器有限公司
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