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本发明公开一种复合式薄膜传感器,其包括两个薄膜基材、两个导电图案层、至少一压电薄膜及至少一薄膜压力传感器。两个导电图案层分别设置于两个所述薄膜基材的内侧面;至少一压电薄膜及至少一薄膜压力传感器,设置于两个薄膜基材之间,并且电性连接两个导电图案层;当薄膜基材受力弯曲或变形时,通过压电薄膜输出一电压形式的第一感测信号,用以检测薄膜基材的变形或动作,并且压电薄膜输出一电流形式的第二感测信号,用以检测薄膜基材承受压力的变化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113137910 A
(43)申请公布日
2021.07.20
(21)申请号 20201
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