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本发明公开一种单晶炉热场加热装置及其加热方法，加热装置位于单晶炉内，所述单晶炉内设有支撑架，支撑架上设有底座和调节件，调节件控制底座位于支撑架上上下移动，底座上设有基准盘，底座上设有阵列分布的调节螺杆，调节螺杆用于调节基准盘的水平度，支撑架上设有加热件，加热件上可拆卸设有填充件，填充件用于向石英罩和坩埚四周填充沙子。本发明加热装置通过转动第二转动手柄，使得底座向下移动，使得基准盘与加热件产生间隙将石英罩放置在基准盘上，取代传统的将石英罩分散成多个部分从加热件的上方放入，操作方便，有利于提高效率；
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113122911 B
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202110334151.0 (56)对比文件
(22)申请日 2021.03.29
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