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化学机械平坦化设备.pdfVIP

化学机械平坦化设备.pdf

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    本公开提供一种化学机械平坦化设备。化学机械平坦化设备包括一多区域平台包括多个独立控制的同心超环形。每个同心超环形的旋转方向、旋转速度、作用力、相对高度和温度都是单独控制的。同心研磨垫固定到在每个单独控制的同心超环形的一上表面。化学机械平坦化设备包括一单一中心浆料源或包括用于每个单独控制的同心超环形的单独浆料源。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113134783 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110049486.8 B24B 37/20 (2012.01)

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