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2023-06-14 发布于四川
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一种低浓度高测量精度的氮氧传感器陶瓷芯片.pdf

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本发明公开了一种低浓度高测量精度的氮氧传感器陶瓷芯片，包括第一功能层，第一功能层的底部设有第二功能层，第二功能层的底部设有第三功能层，第三功能层的底部设有第四功能层，第四功能层的底部设有第五功能层，第五功能层的底部设有第六功能层，第一功能层的顶部一端固定连接有上引脚电极，第六功能层的底部相对上引脚电极的位置固定连接有下引脚电极，本发明的有益效果：通过加热器的方阻设计满足了氮氧传感器芯片对温度的要求；通过主泵电极面积设计提高了主泵、辅助泵、测量泵的泵能能力；通过独立的测量空腔设计、进气通道的扩散障

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113125542 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202110420449.3 (22)申请日 2021.04.19 (71)申请人连云港感瓷电子科技有限公司

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