有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共29页，其中可免费阅读28页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种半导体器件的制造方法，涉及半导体技术领域，在确保半导体器件中，形成在不同类阈值调控区域的晶体管具有不同阈值电压的情况下，减少各晶体管所包括的沟道区中的缺陷。所述半导体器件的制造方法包括：提供一衬底。衬底具有多类区域。至少在衬底具有的部分类区域内分别开设凹槽，并在位于每类区域的凹槽内形成相应材质的半导体材料层，以使得衬底具有的每类区域分别形成相应类的阈值调控区域。刻蚀衬底和半导体材料层位于各类阈值调控区域内的部分，以在每类阈值调控区域均形成沿第一方向延伸的鳍状结构。基于每一鳍状结构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130485 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110350865.0
(22)申请日 2021.03.31
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
文档评论（0）