- 1、本文档共14页,其中可免费阅读13页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种半导体结构及其形成方法,其中,所述形成方法包括:对所述第二介质层进行图形化之后,在所述第二导电层表面形成遮蔽层;形成所述遮蔽层之后,对所述第二接触孔底部的第一介质层进行刻蚀至暴露出所述第一导电层,在所述第二介质层中形成第三接触孔;以所述遮蔽层为掩膜,在所述第三接触孔中形成第一插塞;形成所述第一插塞之后,去除所述遮蔽层;去除所述遮蔽层之后,在所述第二接触孔中形成第二插塞,并在所述第一接触孔中形成第三插塞。所述方法能够形成高质量的第二插塞和第三插塞,改善第二插塞和第三插塞的导电性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130380 A
(43)申请公布日
2021.07.16
(21)申请号 20191
您可能关注的文档
- 一种氧化铝陶瓷材料及其制备方法.pdf
- 一种脱硫胺液的净化工艺及系统.pdf
- 一种基准电路的启动电路和基准电路.pdf
- 一种风力发电叶片.pdf
- 一种地埋电缆防盗接线井.pdf
- 一种利用超声表面波测量工件边缘厚度的方法.pdf
- 一种环境磁场自标定三维磁场传感器.pdf
- 一种家用可减少空气接触的存茶用储茶罐及使用方法.pdf
- 多荧光信号检测系统和方法.pdf
- 一种舞蹈柔韧性装置.pdf
- 10《那一年,面包飘香》教案.docx
- 13 花钟 教学设计-2023-2024学年三年级下册语文统编版.docx
- 2024-2025学年中职学校心理健康教育与霸凌预防的设计.docx
- 2024-2025学年中职生反思与行动的反霸凌教学设计.docx
- 2023-2024学年人教版小学数学一年级上册5.docx
- 4.1.1 线段、射线、直线 教学设计 2024-2025学年北师大版七年级数学上册.docx
- 川教版(2024)三年级上册 2.2在线导航选路线 教案.docx
- Unit 8 Dolls (教学设计)-2024-2025学年译林版(三起)英语四年级上册.docx
- 高一上学期体育与健康人教版 “贪吃蛇”耐久跑 教案.docx
- 第1课时 亿以内数的认识(教学设计)-2024-2025学年四年级上册数学人教版.docx
文档评论(0)