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2023-06-14 发布于四川
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本发明公开了一种大通量细胞声分选芯片，包括有压电基片、叉指换能器、分选流道基底和分选流道，其中叉指换能器溅射在压电基片上，分选流道键合在分选流道基底上，从下至上，压电基片、叉指换能器、分选流道基底和分选流道依次进行设置。所述的叉指换能器的形状为弧形或箭头形，弧形的叉指换能器为聚焦型叉指换能器，箭头形的叉指换能器为汇焦型叉指换能器，有益效果：分选流道的特征尺寸能够被增大，有助于提升分选通量与声流作用的效果。分选流道基底为具有凸凹结构的绝缘层基底或浸润性优化基底。规律化的具有凸凹结构的绝缘层基底或浸

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113134399 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 202110462523.8 C12M 1/42 (2006.01)

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