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本发明提供的具有空间光阵列分束功能器件的装调装置包括：光源、分束棱镜、十字分划板、透镜组、光阑、CCD及待装调空间光阵列分束功能器件，所述光源出射的光束经所述分束棱镜后折转90度，再依次经所述十字分划板、所述透镜组及所述光阑后，以平行光照射所述待装调空间光阵列分束功能器件后返回至所述透镜组，再依次经所述十字分划板及所述分束棱镜后成像在所述CCD处，本发明提供的具有空间光阵列分束功能器件的装调装置，利用两路反射光的十字分划像是否重合达到在线实时监测空间分束阵列装调质量辅助装调目的，可有效降低空间分
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113138469 A
(43)申请公布日
2021.07.20
(21)申请号 20201
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