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本发明涉及一种研磨液供给系统、研磨设备、排气方法及研磨方法，包括：研磨液过滤器；传感器，用于监测研磨液过滤器中是否存在气泡；控制器，与研磨机台及传感器相连接，用于研磨机台处于闲置状态且传感器监测到研磨液过滤器中存在气泡时发出排气信号；排气单元，包括排气管路及控制阀，排气管路与研磨液过滤器的内部相连通，控制阀设置于排气管路上，与控制器相连接，用于在接收排气信号后打开以进行排气。该研磨液供给系统、研磨设备、排气方法及研磨方法排气泡程序简便，避免了人力和机台稼动率的损失；同时，该研磨液供给系统无需人工
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113103150 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110440910.1
(22)申请日 2021.04.23
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
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