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一种背接触式太阳能电池及其制备方法.pdfVIP

一种背接触式太阳能电池及其制备方法.pdf

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    本发明公开了一种背接触式太阳能电池及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：S1、在硅片的背面形成交替设置的n+掺杂层和n++掺杂层；S2、在n+掺杂层和n++掺杂层上形成掩膜层；S3、去除部分的掩膜层和n+掺杂层，以形成第一开孔；S4、除去掩膜层，并对电池片半成品的背面进行制绒；S5、对电池片进行退火，并在电池片的正面依次形成Al2O3层和SiNx层；S6、在电池片的背面形成SiNx钝化膜；S7、对第一开孔内的SiNx钝化膜进行刻蚀，形成刻蚀至硅片的开槽；S8、形成N型电极和P型电极。本发明的制

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113130702 B (45)授权公告日 2022.06.24 (21)申请号 202110251502.1 H01L 31/0236 (2006.01)

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