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电镀装置及电镀方法.pdfVIP

电镀装置及电镀方法.pdf

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    本发明提供一种电镀装置以及电镀方法，所述电镀装置至少包括：电镀腔，用于容纳电镀液，所述电镀腔内部由分隔组件分隔为阳极腔和阴极腔，阳极腔内容纳有阳极；基片支架，所述基片支架包括第一驱动器和基片夹具，所述基片夹具用以保持基片，所述第一驱动器用以驱动所述基片夹具上下移动，以使基片的工艺位置与分隔组件保持预定间隙；其中，所述阳极为消耗阳极，所述分隔组件被配置成可相对所述阳极移动，以维持所述分隔组件与所述阳极间距离恒定。本发明的电镀装置以及电镀方法，通过分隔组件以及基片的可移动性，保持阳极与基片的相对位置

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113122901 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191

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