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本发明涉及用于微机电系统(MEMS)器件的电气部件，特别是但不限于机电致动器。在一个方面中，本发明提供一种用于微机电系统器件的电气部件，其包括：i)基底层；ii)多个相邻的电气元件，其配置在基底层之上，其中各电气元件通过中间区域与邻近的电气元件分隔开，多个电气元件各自包括：a)陶瓷构件；和b)第一电极和第二电极，其布置为与陶瓷构件相邻，使得在操作期间能够在第一电极和第二电极之间并且通过陶瓷构件建立电位差；iii)钝化层或多个钝化层的层叠体，其至少部分地叠置于多个电气元件中的每一个上，以便在多个电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113165383 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980075454.6 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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