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本发明涉及EUV光源散热系统技术领域，具体为一种半导体光刻机，包括：电极套，所述电极套内轴心处贯穿设置有EUV光发射端。本发明当净水冷却水经过进水管上设置的第一冷却套时，净水冷却水能够使得散热环板转动，第二循环水管内的冷水被均匀的分散在圆柱水槽内，这样冷却水能够从敞口环形块内进入水冷板内，而多个散热环板为与两个水冷板之间转动，这样能够增加水冷板内的冷却水与散热环板间接接触的面积，而用于电极套的冷却水位于散热环板和水冷板之间，进而能够快速的进行热传导，这样能够保证冷却箱内的经过液氮降温的水在使用后
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113126454 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202110466611.5 审查员 武晓卫
(22)申请日 2021.04.28
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