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一种狭缝阀,包括组合形成供产品通过的通道的第一壳体及第二壳体,第一壳体朝向通道的表面开设有第一凹槽,第二壳体背离通道的表面开设有第二凹槽;具有基台的升降组件;第一隔板,其设置于基台上,以随着升降组件移动;第一密封件,其设置于第一隔板远离基台的端部;第二密封件,其设置于基台上,在狭缝阀关闭时,第一密封件收容于第一凹槽内,第二密封件收容于第二凹槽内。本发明的实施例提供的充分密封分隔所述通道,避免处理腔室与外部空间或装置交叉污染,降低了系统的维护成本,提高了晶圆的处理良率。本发明还提供一种具有上述狭缝
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113137488 A
(43)申请公布日
2021.07.20
(21)申请号 20201
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