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光栅耦合器和集成式光栅耦合器系统.pdfVIP

光栅耦合器和集成式光栅耦合器系统.pdf

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    一种具有用于将光束耦合到芯片的波导的第一端和第二端的光栅耦合器包括：被配置为从第一端接收光束并且使该光束透射通过第二端的基板，所述基板具有第一折射率n1；具有布置在所述基板上的光栅线的光栅结构，所述光栅结构具有第二折射率n1，其中所述光栅线具有线宽w和高度d，并且按间距Λ布置，其中第二折射率n2小于第一折射率n1；以及被配置为覆盖所述光栅结构的包覆层，其中所述包覆层具有第三折射率n3，其中所述包覆层被布置为使从光栅结构衍射的光束朝向包覆层下面反射。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167968 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980076362.X (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所

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