图像传感器及其制造方法.pdfVIP

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一种图像传感器的制造方法包括至少以下步骤。在图像撷取芯片之上形成材料层。在材料层上形成图案化掩模层，其中图案化掩模层的图案密度从图案化掩模层的中心区到图案化掩模层的外围区变化。使用图案化掩模层作为掩模对材料层进行研磨，以在图像撷取芯片上形成包括单个透镜部分的透镜层。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113130518 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20201

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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