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本发明涉及一种用于热脉冲法响应信号校正的全场校正方法,包括:测量待测样品薄膜的实际热响应电流信号,并转化为频域表达式,然后根据预先获取的系统传递函数,对实际热响应电流信号进行校正;系统传递函数的获取包括:对待测样品薄膜进行金属化处理,然后施加低电场,接着对待测样品薄膜一侧的金属电极击打短激光,测量待测样品薄膜的实测热响应电流信号;根据激光和待测样品薄膜材料参数,计算待测样品薄膜的理想位移电流信号;将实测热响应电流信号和理想位移电流信号分别转化为频域表达式,从而计算系统传递函数。与现有技术相比,本
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113125867 B
(45)授权公告日 2022.04.01
(21)申请号 202110312270.6
(22)申请日 2021.03.24
(65)同一申请的
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