移载装置、光学检测设备及光学检测方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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移载装置、光学检测设备及光学检测方法.pdf

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本发明公开了一种移载装置、光学检测设备及光学检测方法，移载装置包括一吸附载台及一承载装置。吸附载台包括有一载台主体，及设置在载台主体一侧的一第一抬升单元及一第二抬升单元，第一抬升单元设置有一第一吸附单元，第二抬升单元设置有一第二吸附单元，承载装置承载吸附载台并在一移动区间内移动。抬升单元彼此间错位排列以使吸附单元分别对准至相互不重叠的一第一位置及一第二位置上，分别令第二抬升单元下降且第一抬升单元上升以在第一位置上接触待测物，或令第一抬升单元下降且第二抬升单元上升从而在第二位置上接触待测物。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113125342 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202010820025.1 (22)申请日 2020.08.14 (30)优先权数据 108148710

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