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本发明提供一种用于等离子去胶机机台的密封圈，T型密封圈；用于镶嵌T型密封圈的槽位；T型密封圈的顶部为T型的宽部，底部为T型的窄部；T型密封圈的宽部嵌于槽位的底部；与槽位开口部、T型密封圈底部紧贴的磁门。本发明的T型密封圈，其接触磁门的密封圈面相对于密封圈槽面积小。当打开磁门时，密封圈受到大气压力被紧紧压在密封圈槽位内。可以避免密封圈拉出的风险，没有产品因为密封失效而破片。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113123710 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110330213.0
(22)申请日 2021.03.29
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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