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2023-06-14 发布于四川
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本发明提供激光加工装置，其能够不使装置尺寸变大而容易地进行调整。激光加工装置包含：能量分布修正单元(30、40)，其将从激光振荡器(22)射出的激光束(21)的Y轴方向的能量分布的高斯分布的下摆部分形成为垂直的分布；成像透镜组(23)，其由两片以上的透镜构成，使通过能量分布修正单元修正了能量分布的激光束的光束形状成像在被加工物(100)的上表面上；以及一片柱面透镜(24)，其对通过能量分布修正单元修正了能量分布的激光束的X轴方向的能量密度进行调整。使成像透镜组与柱面透镜之间的距离相对地移动来调整

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113118643 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202011485149.5 B23K 26/08 (2014.01) (22)申请日 2

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