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本发明提出了一种声表面波装置，包括：压电基板；IDT电极，所述IDT电极包括多个IDT电极单元，所述多个IDT电极单元层叠设置在所述压电基板上，其中每个IDT电极单元包括：第一缓冲层，设置在所述压电基板上，所述第一缓冲层包括金属钛或铬中的至少一种，在将所述IDT电极的电极周期所确定的弹性波的波长设为λ时，所述第一缓冲层的厚度为0.5％λ以下；第一金属层，设置在所述第一缓冲远层离所述压电基板的表面上，所述第一金属层包括铝,所述第一金属层的厚度范围在1％λ‑30％λ之间。根据本发明的声表面装置，能够
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113114159 B
(45)授权公告日 2021.12.10
(21)申请号 202110587483.X JP 5304898 B2,2013.10.02
(22)
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