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本发明提供一种宽谱线大视场物镜,其包括依次设置的:第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组;所述第二成像镜组中,至少有2片正透镜满足关系式:Dop0.7×D1,且其中焦距最短的2片正透镜满足关系式:0.7<(1/fp1+1/fp2)×f2<1.9;至少有2片负透镜满足关系式:Dop0.7×D1,且其中焦距的绝对值最短的2片负透镜满足关系式:0.45<|1/fm1+1/fm2|×f2<1.4。本发明的宽谱线大视场物镜适于在200nm至450nm的深紫外波长范围使用,其通过设置第一成像镜头,具
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113126284 B
(45)授权公告日 2022.09.30
(21)申请号 201911394296.9 审查员 伏霞
(22)申请日 2019.12.30
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