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本发明提供一种宽谱线大视场物镜，其包括依次设置的：第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组；所述第二成像镜组中，至少有2片正透镜满足关系式：Dop0.7×D1，且其中焦距最短的2片正透镜满足关系式：0.7＜(1/fp1+1/fp2)×f2＜1.9；至少有2片负透镜满足关系式：Dop0.7×D1，且其中焦距的绝对值最短的2片负透镜满足关系式：0.45＜|1/fm1+1/fm2|×f2＜1.4。本发明的宽谱线大视场物镜适于在200nm至450nm的深紫外波长范围使用，其通过设置第一成像镜头，具
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113126284 B
(45)授权公告日 2022.09.30
(21)申请号 201911394296.9 审查员 伏霞
(22)申请日 2019.12.30
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