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本发明公开了一种针孔尺寸及密度可控的氧化硅钝化接触硅太阳能电池，硅片前表面制绒；硅片前表面磷扩散；硅片前表面生长氮化硅作为钝化层和抗反层；硅片背面形成自然氧化层；硅片背面蒸镀金属铝；采用磁控溅射法沉积氧化硅，氧化硅薄膜生长结束以后，进行退火处理；背面铝电极以及前面银电极生长。本发明采用原生氧化硅/超薄金属铝/溅射氧化硅结构，可以有效地控制氧化硅的针孔尺寸及密度，使得该结构对硅片具有良好的钝化接触功能，提升钝化接触硅太阳能电池的效率，降低电池的制造成本，具有重要的产业化应用前景。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113130669 B
(45)授权公告日 2022.02.15
(21)申请号 202110425023.7 H01L 31/18 (2006.01)
(22)申请日
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