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本发明构思的实施方式提供一种用于处理基板的装置。根据例示性实施方式，用于处理基板的装置包括：第一阀及第二阀，其沿从流体供应源向高压腔室的方向依次安装在供应管线中；分支管线，其在第一与第二阀之间分支并与排出管线连接；第三阀，其安装在分支管线上；排出单元，其将高压腔室内的工艺流体排出；及控制器，其中控制器被配置成在搬送机器人将基板搬入高压腔室以处理基板之前进行打开第一阀及关闭第二阀及第三阀的第一操作以及关闭第一阀和第二阀及打开第三阀的第二操作。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130352 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202011630293.3
(22)申请日 2020.12.31
(30)优先权数据
10-2019-0
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