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该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)；激光照明(2)；干涉部(3)，其使激光发生干涉；摄像部(35)，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部(4)，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分。控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113167767 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201880099763.2 (51)Int.Cl.
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