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本发明公开了一种全桥式双推挽流z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有两对加热器、两对热敏电阻和一根隔离电阻；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用全桥加双推挽式热流，四个电桥桥臂都参加工作，灵敏度是单臂的4倍，是灵敏度最较高的一种，其功耗不大；提取电路为等臂电桥，等臂电桥桥臂电阻变化和电桥输出不平衡电压的关系非线性度最小，陀螺的线性好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113124845 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110560712.9
(22)申请日 2021.05.21
(71)申请人 北京信息科技大学
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