双电桥式十字型推挽流微机械z轴薄膜陀螺及其加工方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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双电桥式十字型推挽流微机械z轴薄膜陀螺及其加工方法.pdf

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本发明公开了一种双电桥式十字型推挽流微机械z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有四对加热器和四对热敏电阻；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用双电桥式十字型推挽流，较其他工作原理的微型惯性传感器，其特点八个热敏电阻分别构成两个完全相同的等臂电桥，且陀螺的最后输出由双电桥不平衡电压取和后平均输出，误差小，精度高，灵敏度是单一工作臂的四倍，误差

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113124847 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202110560717.1 (22)申请日 2021.05.21 (71)申请人北京信息科技大学地址

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