分析装置和图像生成方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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分析装置和图像生成方法.pdf

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本发明为分析装置，其用于对检查对象体的检查的状态进行分析，上述检查对象体形成有多个检查对象器件，上述检查使用探针卡进行，上述探针卡形成有多个与上述检查对象器件接触的探针，上述分析装置包括：显示图像的显示部；和图像生成部，其生成在上述显示部显示的图像，上述图像生成部基于上述探针卡的多个部分的上述探针的高度和上述检查对象体的多个部分的上述检查对象器件的高度中的至少任一者的检测结果，生成表示上述探针和上述检查对象器件中的至少任一者的高度的分布的高度分布图像。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169088 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980079433.1 (74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限