具有衬底和布置在衬底上的机电结构的微机电惯性传感器.pdfVIP

具有衬底和布置在衬底上的机电结构的微机电惯性传感器.pdf

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本发明提出一种微机电惯性传感器，具有衬底和布置在所述衬底上的机电结构。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167582 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980068363.X (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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