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本发明提供了一种柔性二维材料光探测器阵列及其制作方法,能够在室温和大气环境下能稳定工作。本发明的柔性二维材料光探测器阵列,其中的二维材料NbSe2通常存在三棱柱结构(2H相)或八面体结构(1T相),2H相为半金属,1T相为莫特绝缘体,生长的大面积或体材料通常是2H相,2H相的半金属薄膜因其光电导特性适合作为光电器件的光敏层材料,且相比于体材料具有较低的暗电流,对波长为532nm到808nm光谱范围内的光照具有响应。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113140641 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110405178.4 H01L 31/18 (2006.01)
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