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激光加工装置具备支撑部、照射部及控制部。照射部具有以与激光的光轴垂直的面内的聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式成形激光的成形部。控制部具有：决定部，其决定第1朝向与第2朝向，以使长边方向与聚光区域的一部分的移动方向交叉；加工控制部，其执行沿着第1区域使聚光区域的一部分相对地移动而形成改质区域并且使线的第1区域以外的区域上的改质区域的形成停止的第1处理、和沿着第2区域使聚光区域的一部分相对地移动而形成改质区域并且使线的第2区域以外的区域上的改质区域的形成停止的第2处理；及调整部，其在执行第1
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113165120 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 201980072868.3 (73)专利权人 浜松光子学株式会社
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