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等离子体电感线圈结构、等离子体处理设备以及处理方法.pdfVIP

等离子体电感线圈结构、等离子体处理设备以及处理方法.pdf

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    本申请实施例公开了一种等离子体电感线圈结构，电感线圈的第一部分产生的磁场强度大于第二部分产生的磁场强度，从而使得电感线圈形成不对称的磁场，而且至少2个电感线圈包括的第一电感线圈的第一部分在预设平面内的投影与第二电感线圈的第二部分在预设平面内的投影在第一方向上至少部分重叠，以补偿第二电感线圈的第二部分产生的磁场强度的大小，同时第一电感线圈的第二部分在预设平面内的投影与第二电感线圈的第一部分在预设平面内的投影在第一方向上至少部分重叠，以补偿第一电感线圈的第二部分产生的磁场强度的大小，又由于在与第一电

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113133175 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191

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