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一种薄膜晶体管，在基板上依序配置有栅极电极、栅极绝缘层、氧化物半导体层、源极电极及漏极电极，所述薄膜晶体管的特征在于，所述氧化物半导体层自所述基板侧起依序具备第一半导体层与第二半导体层，所述第一半导体层与所述第二半导体层包括含有相互相同的构成元素的氧化物半导体膜，且构成所述第二半导体层的氧化物半导体膜的结晶性较构成所述第一半导体层的所述氧化物半导体膜的结晶性高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113169232 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980080222.X (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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