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本发明涉及一种层叠体的剥离方法,其中,包括:第一工序,在将由半导体形成基板构成的第一基体(11)与由使红外线激光透射的支承基板构成的第二基体(12)隔着设于所述第一基体侧的第一粘接层(13)和设于所述第二基体(12)侧的第二粘接层(14)进行接合而制成层叠体(10)时,将所述第一粘接层(13)设为使含有通过氢化硅烷化反应而固化的成分的粘接剂(A)固化而得到的粘接层,将所述第二粘接层(14)设为使用作为主链和侧链的至少一方具有芳香环的高分子系粘接剂的粘接剂(B)而得到的、使所述红外线激光透射的粘接
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113169035 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980075273.3 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司
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