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能够进行基板的表面的抛光清洗与基板的边缘部分的清洗双方。公开一种清洗组件，具备：旋转载台，用于支承圆形的基板，且具有比基板的直径小的直径；抛光清洗部，一边与支承于该旋转载台的该基板的正面接触，一边将该基板的正面抛光清洗；抛光清洗部移动机构，用于使该抛光清洗部相对于该基板移动；抛光清洗部控制机构，控制该抛光清洗部移动机构的动作；以及边缘清洗部，一边与支承于该旋转载台的该基板的边缘部分接触，一边将该基板的边缘部分清洗。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113165142 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980075357.7 (74)专利代理机构 上海华诚知识产权代理有限
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