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一种PECVD设备加热装置.pdfVIP

一种PECVD设备加热装置.pdf

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    本发明公开了一种PECVD设备加热装置，包括加热盘以及多根设于加热盘中间区域的支撑杆，所述加热盘内设有多圈加热电阻丝，所述支撑杆位于所述加热电阻丝的内侧，PECVD设备加热装置还包括辐射加热部件，所述辐射加热部件设于所述加热盘的下方。本发明具有种结构简单、成本低、加热均匀性好、有利于保证工艺效果等优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113122826 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20201

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