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一种模块化智能功率系统的自动后固化方法.pdfVIP

一种模块化智能功率系统的自动后固化方法.pdf

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    本发明涉及一种模块化智能功率系统的自动后固化方法，属于功率半导体技术领域。该模块化智能功率系统的自动后固化方法包括：第一上料步骤、第二上料步骤、保压步骤、烘烤步骤、解压步骤、第一下料步骤以及第二下料步骤。本发明的模块化智能功率系统的自动后固化方法，通过采用第一载具、第二载具和保压组件，并通过烘烤输送装置、输送轨道以及机械手的配合，至少可以完成自动上料、自动加压、自动烘烤、自动下料步骤，模块化智能功率系统结构的后固化处理效率高，产品质量更加稳定。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113140484 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110307608.9 (22)申请日 2021.03.23 (71)申请人 广东汇芯半导体有限公司

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