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本发明公开了一种双色红外探测器制备方法,通过分别在双色红外探测芯片设置一部分连接柱,以及在读出电路表面设置一部分连接柱,可以有效减少在读出电路设置具有一定高度的连接柱的密度,同时保证在双色红外探测芯片表面设置连接柱时其密度同样较低,进而适用于小间距双色红外探测器的制备。本发明还提供了一种双色红外探测器,其制备方法同样具有上述有益效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113140584 B
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202110436287.2 (56)对比文件
(22)申请日 2021.04.22
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