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    一种掩模容器，用于承载掩模，所述掩模容器包括形成收纳掩模的空间的载盘及盖部，所述载盘包括相连接的底部及侧部，所述盖部包括上盖与前盖，所述上盖的一边与所述侧部可转动地连接，另一边与所述前盖可转动地连接，所述掩模容器还包括将所述上盖扣合于所述侧部上的扣合部。本发明的实施例提供的掩模容器增设扣合部将上盖扣合于侧部上，避免掩模上的图案被前盖远离上盖的一端破坏，影响后续的曝光显影制程，提高了制程良率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113140492 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 20201

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    知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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