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一种基板处理设备，包括：框架；SCARA臂，其在肩关节处安装到所述框架，所述SCARA臂具有两个连杆，所述两个连杆具有从其悬置的至少一个末端执行器，所述连杆限定上臂和前臂，每个末端执行器在腕部处枢转地连结到所述前臂，以绕腕部轴线旋转；以及具有至少一个自由度的驱动部段，其可操作地耦接到所述臂，以使所述臂绕肩部轴线旋转，从而关节连接伸出和缩回；其中，所述末端执行器耦接到腕关节带轮，使得伸出和缩回实现所述带轮和末端执行器作为一个单元绕腕部轴线的旋转；以及其中，所述末端执行器的高度处于所述腕关节的叠置高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113169106 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980080880.9 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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