碳硬掩模、成膜装置和成膜方法.pdfVIP

碳硬掩模、成膜装置和成膜方法.pdf

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在层叠于被蚀刻膜上的碳硬掩模的一个实施方式中，碳硬掩模中所含的亚甲基CH2和甲基CH3的浓度比满足下述式。CH2/(CH2+CH3)≥0.5。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169068 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980080907.4 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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