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本发明提供一种按被成形物的规定位置形成控制了方向或位置的微细图案的成形方法、使用该成形方法的压印用模具制造方法、压印用模具、以及光学设备。所述成形方法包括:第1掩模图案形成工序,通过压印,在被成形物(2)的至少包含未形成有微细图案(21)的区域的表面形成用于形成微细图案(21)的第1掩模图案(31);第2掩模图案形成工序,在被成形物(2)及第1掩模图案(31)上形成抗蚀膜(4),通过光照射进行曝光并且进行显影,以使未形成有微细图案(21)且形成有第1掩模图案(31)的区域露出的方式形成第2掩模图
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113169045 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980076533.9 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通
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