- 1、本文档共9页,其中可免费阅读8页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种生长低碳包裹物大尺寸高纯单晶的装置及方法,在坩埚内壁使用三层隔离层,与坩埚壁接触层为铼(Re)金属,该层可避免保护层碳化失效。中间层为过渡元素(Ta,Zr,Ti,Nb,Os,W,Mo,Y)碳化物的一种,该层可吸附多余碳(C)源。与料源接触的最外层用钇(Y)金属,可除去氮原子及后续产生的过量的C。该生长方法在低温阶段慢速升温并反复抽真空,随即升压快速升温到生长温度,在生长恒温上半段控制氩气流量及压力。通过降低埚位,使高温位从料源底部移到料源上部。下半段生长前,升压降温反复抽真空,生长下半段维持
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113122921 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202010502356.0
(22)申请日 2020.06.05
(71)申请人 北京
您可能关注的文档
- 显示设备及音画同步方法.pdf
- 可调型四肢骨折紧急固定防护装置.pdf
- 一种功率检测电路及LED显示屏自检巡检系统.pdf
- 腿部康复训练装置.pdf
- 存储装置及其制造方法.pdf
- 一种土壤化学修复组合物及土壤化学修复方法.pdf
- 牛樟芝培育方法以及用于培养牛樟芝的多孔载体.pdf
- 一种超声波焊接治具.pdf
- 一种光学模组、屏下指纹识别装置及终端.pdf
- 一种储位推荐方法和装置.pdf
- 2023-2024学年广东省深圳市龙岗区高二(上)期末物理试卷(含答案).pdf
- 2023-2024学年贵州省贵阳市普通中学高一(下)期末物理试卷(含答案).pdf
- 21.《大自然的声音》课件(共45张PPT).pptx
- 2023年江西省吉安市吉安县小升初数学试卷(含答案).pdf
- 2024-2025学年广东省清远市九校联考高一(上)期中物理试卷(含答案).pdf
- 广东省珠海市六校联考2024-2025学年高二上学期11月期中考试语文试题.pdf
- 2024-2025学年语文六年级上册第4单元-单元素养测试(含答案).pdf
- 2024-2025学年重庆八中高三(上)月考物理试卷(10月份)(含答案).pdf
- 安徽省安庆市潜山市北片学校联考2024-2025学年七年级上学期期中生物学试题(含答案).pdf
- 贵州省部分校2024-2025学年九年级上学期期中联考数学试题(含答案).pdf
文档评论(0)