- 1、本文档共51页,其中可免费阅读50页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
半导体存储器装置及其制造方法。一种半导体存储器装置包括:堆叠结构,其在联接区域中包括在第一基板上方与多个第二介电层交替堆叠的多个第一介电层,并且在所述联接区域外部包括在所述第一基板上方与所述多个第一介电层交替堆叠的多个电极层;以及多个通孔,所述多个通孔在垂直于所述第一基板的顶表面的第一方向上穿过所述堆叠结构,并且设置在所述联接区域的边缘处以限定蚀刻阻挡部。所述多个通孔中的每一个包括:柱部分,其在所述第一方向上延伸;以及多个延伸部分,所述多个延伸部分从所述柱部分的外周径向延伸并且平行于所述第一基板
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130499 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202010690540.2 H01L 27/11556 (2017.01)
您可能关注的文档
- 双焦距视频的沉浸式显示方法.pdf
- 一种地下空间采光窗井.pdf
- 加速度传感器.pdf
- 一种全车窗成像系统.pdf
- 粉碎刀、搅拌刀组件及食物料理机.pdf
- 金属氧化物半导体场效晶体管及其制造方法.pdf
- 执行目标对象跟踪的方法和装置.pdf
- 通过微通道反应器制备艾日布林中间体的方法.pdf
- 一种c-Met激酶抑制剂及其制备方法和应用.pdf
- 一种三七总皂苷的提取工艺.pdf
- 2023-2024学年广东省深圳市龙岗区高二(上)期末物理试卷(含答案).pdf
- 2023-2024学年贵州省贵阳市普通中学高一(下)期末物理试卷(含答案).pdf
- 21.《大自然的声音》课件(共45张PPT).pptx
- 2023年江西省吉安市吉安县小升初数学试卷(含答案).pdf
- 2024-2025学年广东省清远市九校联考高一(上)期中物理试卷(含答案).pdf
- 广东省珠海市六校联考2024-2025学年高二上学期11月期中考试语文试题.pdf
- 2024-2025学年语文六年级上册第4单元-单元素养测试(含答案).pdf
- 2024-2025学年重庆八中高三(上)月考物理试卷(10月份)(含答案).pdf
- 安徽省安庆市潜山市北片学校联考2024-2025学年七年级上学期期中生物学试题(含答案).pdf
- 贵州省部分校2024-2025学年九年级上学期期中联考数学试题(含答案).pdf
文档评论(0)