一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法.pdf

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本发明提供一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法，包括：向聚酰胺酸溶液中加入溶剂，充分混合，形成混合溶液；对混合溶液进行除气；将混合溶液旋涂于硅片或玻璃片的表面上形成薄膜；将旋涂有薄膜的硅片或玻璃片放入真空炉中，排除真空炉中的空气并抽真空，对薄膜加热，使聚酰胺酸发生环化反应形成超薄聚酰亚胺薄膜。本发明制备的超薄聚酰亚胺薄膜的厚度为200nm‑1000nm，具有制备方法简单稳定的优点，所制备的纳米级的超薄聚酰亚胺薄膜适用于所有MEMS工艺制备的小型化植入式柔性器件。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113150338 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110397840.6 (22)申请日 2021.04.14 (71)申请人上海交通大学地址

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