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一种具有静电消除功能的电子束加工装置，属于电子束加工设备技术领域。包括壳体，内部形成加工待加工品的加工空间；加工用电子枪，与加工空间相连通，加工用电子枪用于向待加工品发射第一电子束；静电消除装置，与加工空间相连通，静电消除装置用于向待加工品发射第二电子束；第二电子束使待加工品产生的电荷与第一电子束使待加工品产生的电荷相抵消。本发明当加工用电子枪发射第一电子束对待加工品进行加工后，第一电子束会导致待加工品表面出现静电积累，使用静电消除装置向待加工品发射第二电子束，第二电子束使待加工品产生的电荷能够
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113163564 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110482771.9
(22)申请日 2021.04.30
(71)申请人 中国科学院电工研究所
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